一氧化二氮（Nitrous Oxide）又稱笑氣，無色有甜味氣體，是一種氧化劑，在一定條件下能支持燃燒（同氧氣，因為笑氣在高溫下能分解成氮氣和氧氣），但在室溫下穩定，有輕微麻醉作用，并能緻人發笑。一氧化二氮和矽烷一起用于在CVD過程中生成氮化矽薄膜。

一氧化二氮(氧化亞氮)用途

  1.超臨界溶劑。單獨或與氧氣混合用作牙科、外科和婦産科的麻醉劑。也可用作防腐劑、制冷劑、助燃劑、煙霧噴射劑。食品工業作為發泡劑和食品的密封劑。電子工業用于二氧化矽的化學氣相沉積等離子工藝。軍火工業用作推進劑。還可用于氣密性檢查、原子吸收光譜的載體等。檢漏劑、制冷劑，以及用作原子吸收光譜用的助燃劑。.

  2.本産品用作醫用麻醉劑、制冷劑、助燃劑、防腐劑、煙霧噴射劑、标準氣和平衡氣等，也用于半導體制造中的乳化CVD工序及氣相澱積氮化矽的氮源。還可作為原子吸收光譜的氧化氣體。

  3. 用于電子工業中二氧化矽的化學氣相澱積等離子工藝。